萨姆科公司成立于1979 年 9 月 1 日 ，

业务内容：

半导体和其他电子元件制造设备的制造和销售

CVD 设备、干式蚀刻设备、干式清洗设备等。

主要产品：

▼薄膜形成领域
・等离子CVD设备
・液源CVD®设备
・ALD设备
▼微细加工领域
・反应离子刻蚀设备
・ICP刻蚀设备
・硅深刻设备
▼清洁・表面处理领域
・Aqua Plasma®清洗机
・等离子清洗机
・紫外线臭氧清洗机